占有全球光刻机市场份额70%的ASML近日表示2019年计划出货30台EUV光刻机,并推出新型号Twinscan NXE: 3400C。目前世界上只有荷兰ASML有能力制造和出货EUV光刻机,实力要高出其它厂商。
目前的Twinscan NXE: 3400B光刻机单台售价达1.2亿美元,新款光刻机的每小时晶圆雕刻能力将从155片提升至170片。
据了解,目前全球各公司装配的EUV光刻机总数仅有31台,而三星的产品目前仍未实现量产,因此市场对于EUV光刻机的需求还是很大的。